Przejdź do głównej treści

Widok zawartości stron Widok zawartości stron

Widok zawartości stron Widok zawartości stron

Sprzęt

Analityczny transmisyjny mikroskop elektronowy FEI TecnaiOsiris jest wszechstronnym urządzeniem przeznaczonym do obserwacji struktury materiałów (w skali atomowej, nano oraz mikro), badań lokalnej analizy składu chemicznego oraz analizy fazowej materiałów półprzewodnikowych, metalicznych i ceramicznych. Punktowa zdolność rozdzielcza mikroskopu wynosi 0.25 nm w trybie TEM oraz 0.18 nm w trybie STEM HAADF. Szeroki zakres różnego typu informacji uzyskanych z obrazów mikroskopowych w jasnym (BF) i ciemnym polu (DF) obserwacji, obrazów wysokorozdzielczych (HRTEM), techniki STEM jak również technik dyfrakcji elektronowej (przy użyciu wiązki równoległej/zbieżnej) w połączeniu z technikami spektroskopowymi EDX oraz EELS umożliwia uzyskanie całościowego opisu struktury i składu badanych materiałów.
Mikroskop posiada, w pełni zautomatyzowany system szybkiej akwizycji i przetwarzania danych uzyskanych w wyżej wymienionych trybach obrazowania oraz trybach analitycznych. Zaawansowane oprogramowanie pozwala dokonać spójnej analizy uzyskanych wyników.

Transmisyjny mikroskop elektronowy FEI TecnaiOsiris (200 kV) jest wyposażony w:

  • działo z emisją polową X-FEG o wysokiej jasności (1.8 x 109 A/cm2 srad), łączące zalety działa termoemisji Schottky'ego (wysoki całkowity prąd wiązki, wysoka stabilność pracy, duża żywotność) z wysoką jasnością działa zimnej emisji polowej. Działo X-FEG znacznie poprawia stosunek sygnału do szumu w STEM oraz EDX/EELS, jak również zapewnia lepszą zdolność rozdzielczą analizy chemicznej EDX/EELS
  • w pełni zautomatyzowany system do prowadzenia badań w trybie techniki transmisyjnej TEM oraz skaningowo-transmisyjnej STEM (detektor HAADF), oraz w trybie tomograficznym
  • kamerę wysokorozdzielczą CCD GATAN Orius,
  • detektor SDD Super-X (kąt bryłowy zbierania danych 0.9 srad zapewnia podwyższoną wydajność detekcji oraz wykrywalność metody EDX w zakresie niskoenergetycznym widma) oraz spektrometr promieniowania rentgenowskiego EDX ( ≤ 130 eV) z systemem mikroanalizy Esprit firmy Bruker do analizy jakościowej oraz ilościowej składu chemicznego próbek,
  • Filtr energii (GATAN Quantum 963) umożliwiający pracę w trybie spektroskopii EELS o zdolności energetycznej  ≤ 1 eV oraz pracę w trybie EF-TEM
  • bezolejowy system próżniowy
  • mikroskop jest przystosowany do pracy zdalnej.
  • uchwyty na próbki: standardowy typu „single-tilt" oraz „double-tilt" (do 80°α ograniczający tzw. martwe pole tomografii) z końcówką berylową (niski sygnał tła analizy spektralnej EDX).
  •  
    Brightness of X-FEG 1.8 x 109 A/cm2srad (@200 kV)
    Total beam current > 35 nA
    High probe currents

    0.5 nA in 0.31 nm probe (@200 kV)

    2.5 nA in 1.0 nm probe (@200 kV)

    Super-X EDX detection system SDD technology, windowless, shutter-protected
    Energy resolution less than 136 eV for Mn-Kα and 10 kcps (output)
    Fast EDX mapping pixel dwell times down to 10 µs
     
    TEM point resolution 0.25 nm
    TEM line resolution 0.102 nm
    Information limit 0.14 nm
    Extended resolution (with TrueImage software) 0.16 nm
    Minimum focus step 1.8 nm
    TEM magnification range 22 x - 930 kx
    Camera length 30 - 4500 mm
    Maximum diffraction angle ± 12°
    STEM HAADF resolution 0.18 nm
    STEM magnification range 150 x - 230 Mx
    Tilt range with high-visibility, low background double-tilt holder for Super-X ± 35°
    Maximum tilt angle with tomography holder ± 80°
  •